j9九游會登錄入口首頁“制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”系列調(diào)研之五：集成電路裝備精密零部件國產(chǎn)化，為攀登制造業(yè)“珠穆朗瑪”提供基石

　　12月6日，記者跟隨“制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”網(wǎng)絡(luò)主題活動來到位于遼寧沈陽的富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司，公司財務(wù)副總江山向記者介紹了我國IC裝備零部件精密制造現(xiàn)狀j9九游會登錄入口首頁。

　　“制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”系列調(diào)研之五：集成電路裝備精密零部件國產(chǎn)化，為攀登制造業(yè)“珠穆朗瑪”提供基石

　　中國日報網(wǎng)12月17日電（曹靜） 中國最大宗的進(jìn)口產(chǎn)品是什么？答案是芯片。數(shù)據(jù)顯示，從2006年開始，中國集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品的進(jìn)口超過石油成為中國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品。2013年至2016年，中國每年芯片進(jìn)口額超過2000億美元。其中，2016年進(jìn)口金額為2270.26億元，是同期原油進(jìn)口金額的兩倍j9九游會登錄入口首頁。

　　隨著5G、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，我國對芯片的需求將進(jìn)一步走強(qiáng)。芯片廣泛應(yīng)用于社會生活的各個方面，像能源、交通、運輸、原材料等基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)一樣，是支撐社會經(jīng)濟(jì)運行的基礎(chǔ)，如果基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)供給能力不足，國民經(jīng)濟(jì)增長將受到影響。因此，想要實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)真正發(fā)展，我國芯片必須擺脫對外的高度依賴。要支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，IC裝備產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要。

　　IC裝備產(chǎn)業(yè)是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產(chǎn)設(shè)備，體現(xiàn)一個國家現(xiàn)代裝備制造業(yè)水平和實力的重要標(biāo)志，因占據(jù)了科技制高點，被稱為制造業(yè)的“珠穆朗瑪峰”。

　　集成電路體系復(fù)雜，對應(yīng)用材料純度極高，在6個9甚至10個9以上，即材料純度需要達(dá)到99.9999%甚至99.99999999%。此外，集成電路有一個基本特征：每一代技術(shù)的尺寸縮小1/3，對應(yīng)整個集成度提高4倍。因此，IC設(shè)備企業(yè)對關(guān)鍵零部件在原材料的純度、質(zhì)量穩(wěn)定性等方面要求極高，沒有滿足IC裝備企業(yè)工藝要求的零部件供應(yīng)，IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展無法想象。

　　“富創(chuàng)生產(chǎn)幾乎覆蓋集成電路的所有零件，來圖加工，以我們的組織加工能力保質(zhì)、保量、按時完成零件生產(chǎn)?！?2月6日，記者跟隨“制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”網(wǎng)絡(luò)主題活動來到位于遼寧沈陽的富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司，公司財務(wù)副總江山向記者介紹了我國IC裝備零部件精密制造現(xiàn)狀。

　　2008年，我國將“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”列入國家科技重大專項(簡稱“02專項”)并開始實施，集成電路高端裝備和材料從無到有，形成良性發(fā)展的產(chǎn)業(yè)鏈和自主知識產(chǎn)權(quán)體系j9九游會登錄入口首頁。

　　“集成電路體系好比一個金字塔。在專項實施之前沒有形成金字塔；專項實施之后我們做出了集成電路的材料，有了裝備、工藝和封裝，金字塔搭起來了j9九游會登錄入口首頁?！?017年的一場發(fā)布會上，國家科技重大專項技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春這樣介紹集成電路專項實施取得的攻關(guān)成果。

　　舉國發(fā)展集成電路的背景下，富創(chuàng)誕生了。通過02專項的支持，富創(chuàng)實現(xiàn)了IC裝備精密零部件國產(chǎn)化的從無到有，形成了服務(wù)我國IC裝備的基本能力，支撐了集成電路裝備企業(yè)長足發(fā)展，關(guān)鍵零部件、核心技術(shù)打破了國外對中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)封鎖。

　　“零件生產(chǎn)需要繁雜的認(rèn)證?！苯秸f，“先要通過第三方機(jī)構(gòu)對企業(yè)生產(chǎn)體系認(rèn)證，其次是首批生產(chǎn)1個零件，經(jīng)過6個月認(rèn)證周期，通過之后進(jìn)行小批量生產(chǎn)5-6個零件，還要經(jīng)過6個月認(rèn)證，再次通過之后才能進(jìn)行大批量生產(chǎn)。” 富創(chuàng)生產(chǎn)的零件已經(jīng)得到日本、美國等國廠商認(rèn)證。

　　人工智能技術(shù)為經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入新活力，制造業(yè)是人工智能技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域，推動制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級，提升國際競爭力。人工智能對IC裝備零件制造的影響同樣巨大。集成電路關(guān)鍵設(shè)備零部件具有多品種，小（微）批量、高精度、制造過程高度復(fù)雜等加工特點，智能產(chǎn)線、數(shù)字化仿真、協(xié)同與集成等智能化手段建成集成電路關(guān)鍵設(shè)備零部件柔性數(shù)字化車間，能夠有效降低整機(jī)企業(yè)成本，提高競爭力。

　　在國家智能專項項目支持下，富創(chuàng)已建成數(shù)字化車間，實現(xiàn)零件柔性、高效、智能化生產(chǎn)j9九游會登錄入口首頁。江山說，富創(chuàng)要做的就是給IC裝備提供零件支撐，降低IC裝備零件成本，推動國產(chǎn)化替代趨勢。

　　需要承認(rèn)的是，我國集成電路還停留在趕超階段，國內(nèi)產(chǎn)品無法完全滿足市場需求。同時，集成電路作為全球化產(chǎn)業(yè)，無論主動與否，國內(nèi)產(chǎn)業(yè)都要參與全球競爭。江山說，富創(chuàng)在給國內(nèi)外IC裝備企業(yè)提供零件的同時，積極向日本等國學(xué)習(xí)，強(qiáng)化自己的技術(shù)。